中国电子技术网

设为首页 网站地图 加入收藏

 
 
  • 首页 > 新闻 > 应用材料为先进微芯片设计提供突破性的流体CVD技术

应用材料为先进微芯片设计提供突破性的流体CVD技术

关键词:应用材料 先进微芯片设计 流体CVD技术

时间:2010-08-26 07:57:05       来源:中电网

美国应用材料公司今天宣布了其突破性的Applied Producer Eterna FCVD(流体化学气相沉积)系统。这是首创的也是唯一的以高质量介电薄膜隔离20纳米及以下存储器和逻辑器件中的高密度晶体管的薄膜沉积技术。这些隔离区域可以形成深宽比大于30(是当今需求的5倍)和高度复杂的形貌。Eterna FCVD系统的独特工艺能够以致密且无碳的介电薄膜从底部填充所有这些区域,并且其成本仅是综合旋转方式的一半左右,后者需要更多的设备和很多额外的工艺步骤。

  应用材料公司副总裁、电介质系统组件和化学机械抛光事业部总经理比尔.麦克林托克先生表示:“在先进芯片设计中要填充更小和更深结构的需求对于现有沉积技术形成了实质性的壁垒。应用材料公司今天通过推出全新的Eterna FCVD系统打破了这一壁垒,提供了突破性的技术,使得摩尔定律可以继续取得进展。应用材料公司以Eterna FCVD系统延续了十年来在沟槽填充技术领域的领导地位,为客户应对多个新芯片世代的挑战提供了独特、简化和具有成本效益的解决方案。”

  应用材料公司专有的Eterna FCVD工艺形成了一个可以自由流入任何形状结构的液体状薄膜,提供从底部向上的无空缺填充。Eterna FCVD系统已经被安装在6个客户的生产厂内,它们被整合在应用材料公司的基准Producer主机平台上,用于DRAM、闪存和逻辑芯片的应用。

 

猜你喜欢

  • LED显示开启未来新视界 DISPLIX® E1010和DISPLIX® E0808是欧司朗光电半导体从2008年推出1616封装的SMD三合一产品,致力于小间距显示屏的应用发展。2014年推出的高亮1010封装, 2017年应市场需求而生的DISPLIX® E1010和...... OSRAM     2018年07月31日     注册 预先提问

    植物生长灯应用及欧司朗产品介绍 LED作为第五代发光技术,在植物生长灯领域,因其能针对性提供植物生长专属光谱、高效节能,已逐步取代传统钠灯及HID,并将于2020年占据约80%以上市场份额,可以说,未来的植物生长灯领域将...... OSRAM     2018年08月17日     注册 预先提问

    高性能红外、激光与传感光电器件在汽车领域的广泛应用 本次研讨会将共话红外在汽车领域的最新技术和解决方案,旨在帮助中国的制造商了解和应对快速成长的汽车红外、激光和传感器市场,应对其中的竞争挑战。本次内容主要介绍光开关、雨量和隧道光线传感器、空调传...... OSRAM     2018年08月29日     注册 预先提问

友荐云推荐