台湾清华大学半导体研究学院成立，浸润式光刻之父林本坚出任院长

12月27日，台湾清华大学半导体研究学院举行揭牌典礼。台湾地区政府多位官员、台湾清华大学校长，以及台积电等11家台湾半导体企业代表共同揭牌。

台湾清华大学校长贺陈弘表示，半导体产业是台湾的支柱产业，其中关键就是要有人才。台湾清华大学半导体学院的成立，揭示了世界经济与产业发展新的里程碑。而台湾清华大学半导体学院由研发出浸润式光刻技术、改写全球半导体发展史的台积电前研发副总经理、中研院院士林本坚掌舵，他为学院订出的人才培育方针，就是要培育兼具“专才”、“通才”、“活才” 的半导体产业领导人才。

贺陈弘还表示，台湾清华大学是华人世界唯一培育3 位诺贝尔奖的大学，学风深厚，基础扎实，近十年来积极推动跨领域学习与创新，约四分之一的毕业生具备双专长，比率与美国加州理工学院相近，领先国际，成为培养半导体领导创新人才的源头活水。

林本坚指出，半导体科技日新月异，台湾必须培养出能解决新问题、开创新领域能力的活才，才能保持领先地位；台湾清华半导体研究学院的目标就是要培育这样的领导人才。

林本坚进一步指出，台湾清华半导体学院包括元件、制程、材料、设计4 部，招生讯息公布后，反应十分热烈，共有4 百多位大学毕业生报名，目前已完成第一期招生，共录取80 位硕士生及12 位博士生，正在进行第二期的博士生招生。部分录取生将自2022 年2 月入学，多数学生则将于2022 年8 月进入清华。

林本坚还表示，特别感谢台湾地区11 家具有领导地位的企业为台湾清华半导体学院挹注经费与师资，包括台积电、力积电、欣兴电子、世界先进、东京威力、台湾美光、南亚科技、环球晶圆、联华电子、联发科、联咏科技，及国发基金的相应支持。在合作企业及国发基金的经费挹注下，清华半导体学院师资阵容更坚强。林本坚透露，目前专聘及合聘的教授已达40 位，还包括来自美国、日本等业界及学界的顶尖师资。

此外，林本坚还提及，台积电当年无法参加EUV LCC联盟，不过却想办法先采用浸润式（Immersion）光刻技术努力，后来EUV量产也领先，甚至超过当年在EUV LCC联盟的英特尔，他并盼望台湾清华大学半导体研究学院后续培育更多人才，巩固台湾半导体业一流地位。

林本坚回忆称，过去2002年左右英特尔与摩托罗拉、AMD等企业一起成立EUV LCC联盟，一起出钱出力，希望研发EUV设备后出来应用于60、40nm等，台积电最初也想加入，不过还被拒绝，因为仅限6家，最后1个位子被IBM抢到，导致台积电无法加入。不过后来台积电团队想办法先采浸润式光刻技术，后来EUV量产也领先这些在联盟中的大厂。而目前，EUV LCC联盟的最初6位成员除了英特尔之外，其他5家后来都没参与了。

林本坚还表示，今日台湾清华大学半导体研究学院揭碑的11家合作厂商包含台积电、力积电、世界先进、敦泰、东京电子、美光、南亚科、联电、环球晶圆、联咏、联发科、欣兴等，但未见到英特尔，林本坚称，也欢迎英特尔加入。