石英股份炉管产品通过长鑫存储认证

据Tom‘s Hardware等外媒报道，中国高纯石英材料龙头企业江苏太平洋石英股份有限公司（以下简称“石英股份”）近期在半导体材料领域取得关键进展——其采用自产高纯石英砂制备的炉管系列产品，已通过国内一家头部DRAM制造商的认证，可用于300毫米晶圆生产。业内人士推测，该DRAM厂商为长鑫存储（CXMT）。

石英股份的技术突围可追溯至2009年。当时，公司与南京大学陈培荣教授团队合作，经过6年攻关，研发出具有国际先进水平的石英砂生产工艺和装备，超纯石英砂纯度可达99.999%，填补了国内空白。公司董事长陈士斌此前就曾表示，这一突破使该公司从被动追随转向敢于领跑。

随后在2019年底，该公司就成为全球第三家通过日本半导体设备大厂Tokyo Electron（TEL）认证的石英材料供应商，打破了欧美企业在该领域的长期垄断。据石英股份披露，其半导体级石英材料还通过了美国泛林集团（Lam Research）等国际知名设备商的认证。

目前，石英股份向泛林集团和TEL供应的超纯石英耗材包括LPCVD扩散管、晶舟（Wafer Boat，半导体晶圆制造过程中用于承载和运输硅晶圆的专用石英器具）、石英锭、石英板及高纯石英管等产品，这些材料自2019至2020年起已进入批量供应阶段。需要指出的是，用于半导体工艺设备的石英材料纯度通常为4N5至5N（约99.995%至99.999% SiO₂），石英股份的产品早已达到这一标准。

早在2025年10月，石英股份就曾在投资者互动平台披露，其用自产高纯石英砂生产的半导体扩散领域炉管系列石英材料，已在“国内一家头部存储晶圆制造企业顺利完成12英寸晶圆制造的全部工艺测试，并凭借卓越的性能成功通过认证”。

这意味着，石英股份已构建起从高纯石英砂提纯、到半导体炉管材料加工、再到供应DRAM晶圆厂的完整国内供应链。不过，石英股份于2026年8月还在互动平台也强调，“产品通过认证并不等同于已实现批量供货，从认证通过到实现规模化放量尚需一定时间”。

半导体炉管是晶圆制造扩散、氧化、退火等高温工艺的核心部件，对材料纯度要求极为严苛。炉管通常采用5N级高纯熔融石英制造，需严格控制电活性杂质和可移动污染物的含量——这些杂质在高温下可能迁移至硅晶圆表面或内部，改变晶体管特性，最终导致缺陷并降低良率。

据行业分析，石英股份的炉管产品此前已在长江存储等国内头部存储企业完成12英寸晶圆制造的全部工艺认证。该公司表示，半导体用石英材料已成为重要的增长点，并持续拓展认证产品的规格与品类。

分析人士指出，石英股份此次通过国产DRAM大厂认证，标志着国产高纯石英材料在半导体核心耗材领域迈出关键一步。

近年来，石英股份加速产能布局，在天水、包头、马来西亚等地投资建设新项目。据悉，天水太平洋1.8万吨高纯管棒项目预计于2026年底投产，产品将覆盖12英寸晶圆厂扩散、氧化、退火工序所需的石英炉管及支撑件，供货客户可能将包括长江存储、中芯国际、长鑫存储等国内头部晶圆厂。

尽管太平洋石英在半导体设备用石英材料领域取得显著成就，但需要指出的是，其产品主要用于硅晶圆制造完成后的半导体生产设备中。而在更上游的环节——用于生长半导体晶锭的石英坩埚，目前仍依赖进口高纯石英砂。

半导体晶锭在由高纯熔融石英制成的坩埚中生长，这类坩埚通常要求SiO₂纯度超过99.999%（5N ），且对单项关键污染物有更严格的限制。目前，这类高纯石英砂主要来自Sibelco和The Quartz Corp.（两家公司均在美国北卡罗来纳州Spruce Pine运营），以及俄罗斯石英公司（Russian Quartz LLC），后者产能有限。