“提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
”三星电子公司正在开发“智能传感器系统”，用于控制和管理半导体工艺。
提高半导体良率的关键点之一是，精确控制半导体生产过程中等离子体均匀性和密度，而“智能传感器系统”用于测量晶圆等离子均匀性，准确测量和管理蚀刻、沉积和清洗的工艺性能，有望提高半导体良率和产能。
三星现有的晶圆智能传感器大部分采购自美国等国外厂商，耗资数千万韩元。而近期对提高产量的需求不断飙升，倒逼三星转向自研，降低对外国传感器的依赖程度。
据了解，三星电子正在开发的智能传感器是超小型的，不会对现有设备空间产生重大影响，这意味着可以在提高空间利用率的同时提高产能。
据报道，三星电子计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围，其目的不仅限于等离子体，而是开发可用于各种半导体工艺的 SMART 传感器和系统。
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