中芯宁波自主体声波谐振器工艺平台已支持多家芯片厂商实现量产

据EETOP从业内消息人士获悉，中芯集成电路（宁波）有限公司（以下简称“中芯宁波”）的自主体声波谐振器工艺技术平台SASFR ，已支持多家设计公司实现射频前端中高频体声波滤波器（BAW）量产，客户产品性能已达到国内最优、业界先进水平，可开始向高端手机供货，在中国大陆独树一帜，也在长期被国外厂商垄断的中高端体声波滤波器领域，实现了具有全自主知识产权的核心技术和规模制造突围。

SASFR（SuspendedAcoustic Separated Film Resonator，也称“悬浮声学隔离薄膜谐振器”）是中芯宁波全自主开发并拥有全套自主知识产权的一种悬臂式薄膜体声波谐振器工艺与器件技术，包含集成空腔的谐振器前道晶圆工艺平台以及后道晶圆级芯片封装与测试配套技术。与业界沿用多年的传统技术路线大相径庭，SASFR 平台在薄膜工艺构架和谐振器件设计上，实现了真正意义上的自主创新突破，且其谐振器关键性能指标可与国际竞品比肩，个别性能甚至高于国际水平。

这一自主体声波滤波器晶圆工艺平台，其核心谐振微器件能够实现射频信号的高性能筛选、降噪、滤波或谐振等多重功能。基于这一平台设计的0.8至6.0 GHz射频滤波器产品，具有低插损、高隔离度、微型化、高功率、体积小等诸多优点，应用范围广泛，所支持产品设计和开发灵活性强，基本覆盖了5G通信所有领域，如手机、无线通信基站、智能电表，以及智能家电信息交互等应用场景。

SASFR 工艺技术和规模制造平台是中芯宁波的核心产品线之一。2019年启动产品线研发后，中芯宁波只用不到两年的时间，就通过了多家客户的产品认证并实现量产。

据芯智讯了解，去年4月底，国产EDA软件、集成无源器件IPD和系统级封装领域的领先供应商芯和半导体就曾宣布，基于中芯宁波自主开发的高性能体声波谐振器技术以及全套晶圆级加工与封装工艺技术，芯和半导体的首款自主设计和开发的高频段体声波滤波器产品正式发布，并已向本土无线终端客户送样，进入系统客户的验证和测试阶段，并于2020年第三季度进入批量生产和供货。

另据新声公司负责人表示，选择中芯宁波作为战略合作伙伴的最重要原因是，SASFR 工艺平台是中芯宁波CEO黄河博士亲自率领团队从零开始全自主开发，知识产权完全自主可控。启动客户推广与产品合作以来，新声在中芯宁波代工的体声波滤波器良率和可靠性快速提升。中芯宁波用两年的时间走过了国外IDM十年的发展道路。

据了解，此前中芯宁波相关业务负责人曾表示，公司CEO黄河博士是SASFR 的核心发明人。公司研发和晶圆厂运营团队在黄河博士的领导下从零起步，排除各种质疑，战胜无数艰难险阻，纯粹凭借团队自身的力量，坚定地走全自主工艺技术开发道路，短时间内完成了全套晶圆制造工艺、晶圆级封装和测试的开发、设置和验证并进入产业化，创造了奇迹。

业内专家评价说，中芯宁波SASFR 制造平台的成功充分说明，凭借自主创新的坚定决心、团结实干的优秀队伍和互信共赢的市场合作，完全有可能在一些国外垄断的领域实现知识产权安全的产业化突破。

随着5G商用的启动，国内滤波器出货量呈现爆发式增长态势。业内分析机构预测，2022年全球滤波器市场规模将达到160亿美元，其中体声波滤波器占比约47%，市场规模约75亿美元。目前，国内中高频体声波滤波器市场仍然主要被Broadcom和Qorvo等国外厂商所垄断。

关于中芯宁波

中芯集成电路（宁波）有限公司由中芯国际、国家集成电路产业投资基金（大基金）和地方产投基金等联合投资，2016年底落户北仑区，是宁波市集成电路产业龙头企业。公司于2020年12月完成B轮融资后，三家社会资本为并列第一大股东，中芯国际为第四大股东，大基金为第五大股东。

中芯宁波专注于射频前端、高压模拟和光电集成特种工艺半导体领域，核心技术和管理团队以曾在中芯国际从事特种工艺研发和生产的专业成员为基础，并吸收了来自英特尔、台积电、瑞萨和应用材料等国内外优秀半导体企业的资深管理和技术专家。目前，公司员工总数约800人，其中研发人员占比约30%，人均经验超过15年，工程技术人员占比超过85%。

公司规划建设和运营两条具有业界先进技术水平的特种工艺集成电路晶圆制造产线，其中位于小港装备产业园的８英寸N1产线已于2018年11月投产，位于柴桥芯港小镇的N2项目于2020年6月开工建设，2021年6月如期完成首部机台搬入。

成立以来，公司在CEO黄河博士的领导下，不忘初心、牢记使命、低调务实、奋斗为本，不以国外任何现成技术为参考，坚定地走基础性、原理性的自主创新之路，承担科技部和工信部牵头的“03专项”和“工业强基”等国家重大专项技术攻关，并构建了完整的知识产权保护体系。公司研发投入逐年递增，2017年至2020年分别为4000万元、7200万元、1.5亿元、1.9亿元，2021年预计达到3.7亿元。截至2021年10月，公司国内国外专利申请总量超过700件，研发团队人均专利申请量在国内半导体制造领域排名第一。2021年5月，公司入选浙江省创造力百强，成为宁波唯一一家获此殊荣的半导体公司。

中芯宁波以客户需求为导向，采用专业化特种工艺晶圆制造代工（Foundry）与应用定制化产品设计服务支持相结合的商业和运营模式，目标市场涵盖5G通信与移动终端、智能家电与工业控制、工业物联网与医疗电子等多个战略性新兴产业，致力于在专注领域发展成为中国最大、具有国际先进水平的特种工艺半导体晶圆代工制造商。

黄河博士是团队灵魂

业内人人士还表示，中芯宁波取得的成绩高度依赖黄河博士的领导。黄河博士是有史以来共40名“宁波市杰出人才”之一，为宁波半导体集成电路产业的发展做出了不可估量的贡献。他是中芯宁波一切技术和业务的开拓者和主心骨。没有黄河博士，就没有中芯宁波的过去、现在和未来。

黄河博士放弃美国大公司的优厚待遇，2002年回国加入中芯国际，此后至2016年的十四年间一直从事特种工艺研发，是中芯国际甚至中国大陆几乎全部特种工艺项目的主要开拓者。中芯宁波成立后，在黄河博士的感召下，几十名核心技术与管理人员迁居宁波北仑，全身心致力于特种工艺半导体事业，也为带动宁波集成电路产业发展做出了突出贡献。五年间，公司从最初的几个人逐渐发展到走向千人，全体员工一直紧密团结在黄河博士周围，这既是因为黄河博士拥有无与伦比的专业能力，更是因为黄河博士人品出众、极富凝聚力和领导力。