国产首台商用 200 千伏场发射透射电子显微镜发布，突破国外技术垄断

从“博众仪器”微信公众号获悉，6 月 28 日，苏州博众仪器科技有限公司（以下简称博众仪器）发布国产首台商用 200 千伏场发射透射电子显微镜 BZ-F200。该显微镜的点分辨率达到 0.25 纳米，晶格分辨率达到 0.14 纳米，能够直接分辨绝大多数材料的晶格结构。

透射电镜作为制约我国工业发展的“卡脖子”技术之一，国产替代意义重大。博众仪器自主研制的国内首台商用 200kV 场发射透射电镜，突破“从无到有”的技术瓶颈，同步打通产业化落地路径。

“经过五年的技术攻关与反复锤炼，从整机产品到每一个关键零部件，博众仪器已把全链条核心技术牢牢掌握在自己手中。”博众仪器总经理唐爱权介绍，随着 BZ-F200 透射电镜在材料科学、生命科学、半导体等领域的应用，将有效形成新业态、新模式、新动能，成为培育和发展新质生产力的重要引擎。未来，博众仪器将坚定专注于电子束核心技术，不断完善产品线，并通过为业内提供电子束技术应用与服务，赋能产业生态建设，为中国高科技自立自强这一时代命题，交出“博众答卷”。

据了解，BZ-F200 透射电镜主要围绕集成电路、材料研发以及前沿科学领域，适用于晶格尺度的结构解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。

此前，高端透射电镜产业长期被国外仪器公司垄断，核心零部件受到国外技术封锁。针对这项痛点，博众仪器陆续实现了热场电子枪、超高稳定度电源、热场电子源、精密加工镜筒、纳米级测角台等核心零部件的自主生产，并在用户相关设备中得到长期验证。

如果将透射电镜比作材料科学的“眼睛”，那么高分辨成像与电子衍射技术便是这双眼睛的“瞳孔”。活动现场，重庆大学教授张大梁作为 BZ-F200 用户代表表示：“微观结构表征对于理解材料的应用属性至关重要，该显微镜在复杂晶体结构解析、微区结构表征和纳米尺度形貌分析等领域发挥着不可替代的作用。”